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提问人：网友wuxhyou
发布时间：2022-01-06
[单选题]
二氧化硅薄膜在半导体器件生产上的应用有（） 。 ⑴ 对杂质的掩蔽作用 ⑵ 对器件表面的保护和钝化作用 ⑶ 用于器件的电绝缘和电隔离 ⑷ 作为电容器的介质材料 ⑸ 作为MOS场效应晶体管的绝缘栅材料
A.⑴⑵⑶⑷⑸
B.⑴⑵
C.（1）（2）（3）
D.（1）（2）（4）（5）
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为（）
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为（）
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