光刻是集成电路制造工艺发展的驱动力。（)

A.光刻

B.刻蚀

C.氧化

D.溅射

此题为判断题(对，错)。

此题为判断题(对，错)。

此题为判断题(对，错)。

A.光刻制造

B.光镀精密制造

C.集成电路制造

D.精密加工制造

此题为判断题(对，错)。