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提问人:网友xykweb
发布时间:2022-01-07
[多选题]
二次清洗的注意事项有哪些?
A.绝对不允许用手直接接触硅片;物品和工具定点放置,用过的工具要放回原位,严禁乱放。
B.操作员应时刻注意显示设备运转状态的指示灯,绿灯为正常运转,黄灯为手动或其他,红灯为异常或事故发生,立即按下急停按钮。
C.工作结束时及时关闭电源、氮气和水源、压缩空气。
D.清洗完硅片要尽快镀膜,滞留时间不超过1h。
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