微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

微细加工工艺方法有

A超微机械加工

B光刻加工

C体刻蚀加工

D面刻蚀加工

A.光刻

B.电子束

C.离子束加工

D.激光束加工

A.电子束微细加工

B.聚焦离子束微细加工

C.激光束微细加工

D.光刻微细加工

A.光刻技术

B. HARQ技术

C. 半导体掺杂技术

D. LIGA技术

A.光刻制造

B.光镀精密制造

C.集成电路制造

D.精密加工制造

微细加工中的关键技术有()

A微系统建模技术

B微细加工技术

C微型机械组装和封装技术

D自组织成型工艺

A.电子束加工

B.电解加工

C.电火花加工

D.超声加工

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗

B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散

C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原