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提问人:网友文旻昊 发布时间:2022-01-07
[多选题]

在集成电路制造过程的图形制备的最后一道工序是光刻胶去除,这一过程叫去胶,常用的去胶方法有()。

A.溶剂去胶

B.氧化去胶

C.物理去胶

D.等离子体去胶

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匿名网友[222.***.***.59]选择了 C
1天前
匿名网友[213.***.***.97]选择了 A
1天前
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1天前
匿名网友[81.***.***.39]选择了 B
1天前
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1天前
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1天前
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1天前
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1天前
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更多“在集成电路制造过程的图形制备的最后一道工序是光刻胶去除,这一过程叫去胶,常用的去胶方法有()。”相关的问题
第1题
去胶的方法主要有

A.溶剂去胶

B.等离子体去胶

C.氧化去胶

D.刻蚀去胶

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第2题
刻蚀之后,光刻胶已经不再需要,此时将光刻胶去除的工艺称为去胶
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第3题
光刻加工的工艺过程为:()A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散C

光刻加工的工艺过程为:()

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗

B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散

C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

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第4题
在IC制造过程中,曝光、刻蚀、显影和去胶的顺序是()。

A.曝光-显影-刻蚀-去胶

B.曝光-刻蚀-显影-去胶

C.曝光-显影-去胶-刻蚀

D.曝光-刻蚀-显影-去胶

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第5题
晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。

A.除去光刻胶中剩余的溶剂

B. 增强光刻胶对晶片表面的附着力

C. 提高光刻胶的抗刻蚀能力

D. 有利于以后的去胶工序

E. 减少光刻胶的缺陷

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第6题
去胶时,常常将有金属的表面和无金属表面进行区分,他们采用不同的去胶方法。
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第7题
等离子体去胶是一种干法去胶,表面比较干净,去胶效果比较好。
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第8题
光刻的主要工艺流程按照操作顺序是()。

A.涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、去胶

B. 涂胶、前烘、坚膜、曝光、显影、去胶

C. 涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶

D. 前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、去胶

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第9题
光刻工艺是按照下列哪种流程顺序进行操作?

A.打底膜、涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶

B.打底膜、前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶

C.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶

D.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶、刻蚀

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第10题
常见的去胶方法有哪些?简要说明原理?
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