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(请给出正确答案)
提问人:网友文旻昊
发布时间:2022-01-07
[多选题]
在集成电路制造过程的图形制备的最后一道工序是光刻胶去除,这一过程叫去胶,常用的去胶方法有()。
A.溶剂去胶
B.氧化去胶
C.物理去胶
D.等离子体去胶
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