题目内容
（请给出正确答案）
A.沟道效应，＜
B.沟道效应，＞
C.横向效应，＜
D.横向效应，＞
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更多“在离子注入掺杂时，有少部分杂质进入衬底后穿过较大距离，这种现象就是 。当偏离晶向 ψc注入时，可以避免。”相关的问题
A、不可以
B、可以，实际注硼：QB+QSb
C、可以，实际注硼：QB-QSb
D、可以，实际注硼：QB
基于LSS理论，判断对下图分析的对错：
A、该入射离子是低能注入；
B、该入射离子是高能注入；
C、入射离子在靶中由A运动到B主要受到靶原子核阻滞；
D、入射离子在靶中由A运动到B主要是受到靶电子阻滞；
E、入射离子在靶中由B运动到C主要受到靶原子核阻滞；
F、入射离子在靶中由B运动到C主要是受到靶电子阻滞。
A、注入离子越轻，临界剂量越小；
B、靶温升高，临界剂量上升；
C、注入离子能量越高，临界剂量越低；
D、注入离子剂量率增大，临界剂量降低。
A、0.088μm
B、0.712μm
C、0.512μm
D、0.6μm
A、温度的较小变化都会对淀积速率有较大影响；
B、淀积速率受气相质量输运控制；
C、淀积速率受表面化学反应控制；
D、反应剂气体浓度的变化对淀积速率的影响不大。
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