纳米光刻技术中分辨率越高，光刻图形能分辨的线宽越大。

简述纳米光刻技术的基本过程和原理，并分析提高传统光刻技术分辨率的主要途径。

A.两者都可用于制备纳米图形

B.纳米压印技术对操作环境的要求更高

C.纳米压印技术可以在圆柱形衬底上制备图形

D.纳米光刻版材料的选择性更广

E.纳米光刻工艺成本更低

F.有些纳米压印法可采用柔性材料来制备模板

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()

A.电子束曝光技术

B.离子束曝光技术

C.X射线曝光技术

A.接触式光刻

B.接近式光刻

C.压印式光刻

D.投影式光刻

A.55nm

B.35nm

C.32nm

D.60nm