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提问人:网友oldzhang
发布时间:2022-01-06
[多选题]
以下方法可用来制备晶体硅薄膜的有()。
A.热辅助化学气相沉积(TA-CVD)
B.液相外延(LPE)
C.近空间气相输运(CSVT)
D.和离子辅助沉积(IAD)
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