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(请给出正确答案)
提问人:网友liangsuifeng
发布时间:2022-01-07
[单选题]
Si3N4薄膜在集成电路中的应用主要有:⑴ 钝化膜 ⑵ 选择氧化 ⑶电容介质 由于氮化硅氧化速率极低,因此被用作()的掩蔽膜。
A.⑴
B.⑵
C.⑶
D.⑴⑵
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