题目内容
(请给出正确答案)
提问人:网友yiqingyj
发布时间:2022-01-06
[单选题]
离子注入的主要气体源中,剧毒的有()。
A.砷化氢
B. 二硼化氢
C. 四氟化硅
D. 三氟化磷
E. 五氟化磷
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