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提问人:网友文旻昊
发布时间:2022-01-07
[多选题]
离子注入最主要的缺点是()。
A.会对晶体结构产生损伤
B.离子注入设备复杂且昂贵
C.高温工艺
D.沟道效应(或通道效应)存在
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