以下晶体硅薄膜的制备方法中,所需温度最低的是()。
A.热辅助化学气相沉积法
B.液相外延法
C.近空间气相输运法
D.离子辅助沉积法
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- · 有2位网友选择 A,占比20%
- · 有1位网友选择 D,占比10%
A.热辅助化学气相沉积法
B.液相外延法
C.近空间气相输运法
D.离子辅助沉积法
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