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(请给出正确答案)
提问人:网友lzl731
发布时间:2022-01-07
[单选题]
题3-2-10 以下不是化学气相沉积工艺所成薄膜质量指标的是 。
A.台阶覆盖特性
B.薄膜致密性
C.薄膜厚度均匀性
D.薄膜宽度
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